我們生活中用到的電子設(shè)備、如手機(jī)、電腦、電視都是依賴于各種芯片。而每個芯片的核心是一個圓片，它是從各種圓片上切割下來的。晶圓本身存在良率問題，晶圓表面也可能存在各種缺陷。為了防止有缺陷的晶圓流入后續(xù)封裝過程，必須使用光學(xué)檢測設(shè)備對晶圓表面缺陷進(jìn)行識別、分類和標(biāo)記，并輔助晶圓分揀。那么接下來我們就來說說機(jī)器視覺檢測晶圓的解決方案。
【測量需求】
1.晶圓三維表面形貌
2.晶圓表面缺陷
【檢測步驟】
1.固定晶圓樣品至FocalStation測量臺，并進(jìn)行機(jī)械原點(diǎn)歸位;
2.在FS軟件中設(shè)置掃描參數(shù)，開始掃描并等待任務(wù)完成;
3.數(shù)據(jù)預(yù)處理，包含校平、光學(xué)降噪等;
4.分析與報告;
【晶圓表面缺陷檢測優(yōu)勢】
1.設(shè)備特點(diǎn)：特殊膜片自動送料機(jī)構(gòu)。
2.檢測精度：精度可達(dá)微米級。
3.檢測效率：檢測速度可達(dá)每分鐘1200個。
4.主要功能：檢測長、寬、高、直徑、混合、變形、缺料、毛刺、黑點(diǎn)、劃痕、污點(diǎn)等
5.適用范圍：適用于橡膠圈、螺絲、螺母、汽車配件、手機(jī)配件、不銹鋼、鋁、塑料、磁性材料、五金配件、電子產(chǎn)品等設(shè)備的檢測。
6.非接觸式測量：由于不會損壞觀察者或觀察者，提高了系統(tǒng)的可靠性。
7.機(jī)器視覺解決方案可以節(jié)省大量勞動力，大大提高生產(chǎn)效率。
8. 寬光譜響應(yīng)范圍。例如，使用人眼不可見的紅外測量可以擴(kuò)大人眼的可視范圍。
9.長期穩(wěn)定工作：雖然人類很難長時間觀察同一物體，但機(jī)器視覺可以長時間執(zhí)行測量、分析和識別任務(wù)。
總結(jié) 機(jī)器視覺檢測可以很好的替代人工實(shí)現(xiàn)缺陷的檢測、提高工作的效率。杭州國辰擁有6年的工作經(jīng)驗(yàn)，幫助很多企業(yè)實(shí)現(xiàn)機(jī)器替代人工的方案實(shí)施。